Xiton單頻激光器
產(chǎn)品型號(hào)：SLM
所屬品牌：Xiton Photonics
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：Xiton Photonics 提供各系列單頻半導(dǎo)體泵浦固體DPSS激光器。廣泛應(yīng)用與計(jì)量，光刻或激光雷達(dá)等。
Xiton Photonics 提供各系列單頻半導(dǎo)體泵浦固體DPSS激光器。
Xiton Photonics IXION 193 SLM是一種單頻全固體激光系統(tǒng)-193.368nm的單頻DPSS激光器，用于導(dǎo)體計(jì)量學(xué)，光學(xué)計(jì)量、193nm步進(jìn)光學(xué)器件的校準(zhǔn)或高功率ArF準(zhǔn)分子激光器的帶寬控制等應(yīng)用。頻譜帶寬接近其理論傅立葉極限。該系統(tǒng)的中心波長(zhǎng)在185和194nm之間的范圍內(nèi)是可定制的，并且可以在訂購(gòu)時(shí)被配置為固定波長(zhǎng)。作為附加選項(xiàng)，可以將具有0.001nm絕對(duì)光譜精度的高精度光譜儀集成到系統(tǒng)中。這使得能夠最大限度地精確控制激光器的光譜調(diào)諧。
型號(hào) | 波長(zhǎng) | 平均功率 | 脈沖持續(xù)時(shí)間 | 脈沖能量 | 重復(fù)頻率 | 光束質(zhì)量 | 頻譜帶寬 | 規(guī)格書 |
IXION 193 SLM | 193.368nm | 10 mW | 典型值 8~12ns | 1.6uJ | 1~15 kHz | M2 < 1.6 | <80 MHz |
Xiton Photonics SLM Series--單頻DPSS激光器，適用于所有Nd諧波（1064、532、355、266、213nm）。各種應(yīng)用，如計(jì)量、光刻或激光雷達(dá)。
當(dāng)光譜帶寬或相干長(zhǎng)度很重要時(shí)，SLM系列可能是完美的選擇。脈沖ns激光器的高峰值功率允許有效的頻率轉(zhuǎn)換，甚至可以轉(zhuǎn)換到深紫外。再加上單頻發(fā)射，這為無(wú)與倫比的機(jī)遇開(kāi)辟了新的天地。
型號(hào) | 波長(zhǎng) | 平均功率 | 脈沖持續(xù)時(shí)間 | 脈沖能量 | 重復(fù)頻率 | 光束質(zhì)量 | 頻譜帶寬 | 規(guī)格書 |
SLM 213 | 213nm | >100 mW | 6~8 ns | 10uJ | 1~15 kHz | M2 < 1.6 | <80 MHz |  SLM-213.pdf |
SLM 266 | 266nm | 500 mW | 8~10 ns | 50uJ | 1~20 kHz | M2 < 1.7 | <80 MHz | SLM-266.pdf |
SLM 355 | 355nm | 2 W | 10~12 ns | 200uJ | 1~15 kHz | M2 < 1.5 | <60 MHz | SLM-355.pdf |
SLM 532 | 532nm | 4 W | 10~15 ns | 400 uJ | 1~15 kHz | M2 < 1.2 | <60 MHz | / |
SLM 1064 | 1064nm | 10 W | 15~25ns | 1 mJ | 1~15 kHz | M2 < 1.2 | <40 MHz | / |
Xiton Photonics EXCITE Series-新一代單頻DPSS激光器，可用于大多數(shù)Nd hamonics（1064、532、355、266nm）比SLM系列更小。
EXCITE是一種單頻全固態(tài)激光系統(tǒng)，適用于紫外線應(yīng)用，如晶圓檢查、光譜儀校準(zhǔn)和干涉測(cè)量應(yīng)用。小于30MHz的頻譜帶寬接近其理論傅立葉極限。
該激光器以1到30kHz的重復(fù)頻率在M2<1.6的衍射受限光束中提供短時(shí)間脈沖。平均輸出功率在266 nm處超過(guò)150 mW，或在355 nm處超過(guò)500 mW，在堅(jiān)固的工業(yè)設(shè)計(jì)中具有超穩(wěn)定的脈沖軌跡和超過(guò)4 m的長(zhǎng)相干長(zhǎng)度。
型號(hào) | 波長(zhǎng) | 平均功率 | 脈沖持續(xù)時(shí)間 | 脈沖能量 | 重復(fù)頻率 | 光束質(zhì)量 | 頻譜帶寬 | 規(guī)格書 |
EXCITE 266 | 266nm | >150 mW | 10~15 ns | >12.5uJ | 1~30 kHz | M2 < 1.7 | <60 MHz | EXCITE.pdf |
EXCITE 355 | 355nm | >500 mW | 14~18 ns | >40uJ | 1~30 kHz | M2 < 1.3 | <50 MHz | |
EXCITE 532 | 532nm | 2.5 W | 15~20 ns | 160 uJ | 1~30 kHz | M2 < 1.2 | <50 MHz | |
EXCITE 1064 | 1064nm | 6 W | 20~30ns | 400 uJ | 1~30 kHz | M2 < 1.2 | <30 MHz |
Xiton Photonics IMPRESS 213--213nm DPSSL激光器
IMPRESS 213系統(tǒng)是發(fā)射波長(zhǎng)為213nm的高重復(fù)率固體二極管泵浦Q開(kāi)關(guān)激光器。高斯TEM00模式激光束是光纖布拉格光柵（FBG）生產(chǎn)中公認(rèn)的主力軍。其他應(yīng)用是鉆石和藍(lán)寶石或類似材料的標(biāo)記。由于激光輻射的波長(zhǎng)非常短，在直接激光寫入中可以實(shí)現(xiàn)小于1μm的特征尺寸。
與Ar離子激光器相比，IMPRESS 213是一個(gè)真正的節(jié)能器，并且可以通過(guò)封閉的冷卻系統(tǒng)容易地控制溫度。結(jié)合節(jié)省空間的占地面積，將運(yùn)營(yíng)成本保持在最低限度。
型號(hào) | 波長(zhǎng) | 平均功率 | 脈沖持續(xù)時(shí)間 | 脈沖能量 | 重復(fù)頻率 | 光束質(zhì)量 | 規(guī)格書 |
IMPRESS 213 | 213nm | 150mW | 6~8 ns | >15uJ | 1~30 kHz | M2 < 1.6 | IMPRESS-213.pdf |
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